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该文介绍了一种利用光学暗场技术,以光电倍增管为接收器的暗物对准系统.可在光刻硅片的标记上获得对比度强,信噪比高的对准信号.在文对硅片面上的光强分布进行了理论分析,并根据暗场对准的特点,对光学系统进行了设计和装调;完成了光电转换系统的设计和调试;提出了在软件中插入二分电池探讨探测器进行处理的算法,并对这一算法和软件整体设计作了详细的介绍.