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微球板(Microsphere Plate-MSP)作为一种新型的电子倍增器件,与微通道板(Microchannel Plate-MCP)相比,除空间分辨率低外,具有比MCP更优越的性能和十分低廉的价格,有着广阔的应用前景。 本论文在对微球板制作过程中的相关理论进行详细探讨的基础上,对其制作工艺及工作机理进行了大量的实验研究:探索了获得满足实验要求的玻璃粉粒的方法,玻璃微珠的粒度分级技术及微球板的压制、烧结工艺,并对微球板基体进行了烧氢还原处理及镀膜工艺,制备出直径为25mm的微球板电子倍增器。 针对实验过程中出现的现象,我们得出了微球板制作过程中,影响其性能的因素,同时针对其存在的不足,提出需要进一步改进和完善之处。