随着工业产品向微型化、精密化方向发展，微细结构在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域得到了广泛应用。电解加工具有加工效率高、阴极无损耗、不存在残余应力等优点，且以离子形式去除工件材料，在微结构制造领域具有独特的优势。但微细电解加工过程中，微小加工间隙内部电解产物的排除、电解液更新困难制约了加工精度和稳定性的提高，限制了其在工业生产中的推广应用。本文以微尺度群缝电解加工为研究对象，进行了振动进给电解加工设备的研制，基于该设备开展了振动进给下群缝电解加工的试验研究，主要研究内容如下：1、基于微尺度群缝电解加工精度和稳定性影响因素的分析，讨论了用于改善加工精度及稳定性的振动进给电解加工方法，分析了该加工方式下加工区电解产物排除、电解液更新的过程。2、振动进给电解加工试验系统研制，通过对比振动实现方案，进行装置结构设计，研制出一套位置控制精度高，响应速度快，振动幅值、频率及波形参数方便可调的振动系统；根据微细电解加工特点及其对设备的要求，进行设备机械结构、电解液循环过滤系统、电源系统及控制系统的设计，得到满足工艺试验要求的振动进给电解加工设备。3、进行微尺度群缝的振动进给电解加工工艺试验，研究振动幅值和频率对加工精度和稳定性影响的规律；采用优选的振动参数，研究加工电压、电解液压力对加工精度和稳定性的影响。采用研制的振动进给电解加工设备，基于工艺试验研究结果，成功进行了剃须刀微尺度群缝的精密高效电解加工，已稳定实现小批量生产。