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随着微结构光学的发展，微结构光学器件正向微型化、阵列化、集成化方向发展。微细加工技术的不断提高和改进，器件尺寸也越来越小，为微结构光学阵列发展创造了条件。由于微透镜阵列可以高速、并行地处理光信息，已被广泛应运于国防、军事、信息处理、生物医学等领域，其相关的设计与制作也成为人们研究的热点之一。微光学在设计理论和制作方法上的改进，光刻技术也逐渐从有掩模时代发展到无掩模时代。数字化无掩模光刻技术凭借其成本低、无套刻误差和实时、有效、灵活的制作特点，已受到越来越多的重视。本论文基于DMD(Digit