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振动辅助抛光氟化钙晶体材料去除机理研究
【摘 要】
:
氟化钙晶体具有优良的光学特性、机械性能和化学稳定性,广泛用作固体激光晶体和深紫外光刻系统材料,因此对氟化钙晶体的表面质量提出了更高要求。近年来,振动辅助技术在超精密加工中应用越来越广泛,为氟化钙晶体固结磨料研抛提供了新思路。本文主要研究振动辅助抛光氟化钙晶体的材料去除机理,探索氟化钙晶体的摩擦磨损特性,分子动力学研究振动辅助条件下磨粒对氟化钙晶体的微观作用机制,仿真研究振动辅助作用下抛光液的流场性
【出 处】
:
南京航空航天大学
【发表日期】
:
2020年01期
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