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非晶硅薄膜太阳电池本身层厚较薄不能够对入射光子进行完全吸收，通过对其入射光路进行优化设计而增加光程提高其表面透过率及体内吸收率从而提高最终效率是除改进材料以外提高非晶硅薄膜电池效率的重要途径。本文采用几何结构的二维阵列形成的表面及内部光子晶体具有良好的陷光及光分散等光调制作用，从而提高非晶硅薄膜电池对光的透过吸收率。本文同时研究了单晶硅电池，其内部的梳齿状pn结结构可以对电流分布进行二维调制从而提高电池效率。本文对于非晶硅薄膜电池顶层ITO层陷光特性进行了研究，提出了两种陷光结构，一种在平面