射流盘是偏导射流伺服阀中的关键零件，其加工质量对伺服阀的工作性能有着重要影响。因此需要对其相关尺寸和公差进行精准测量，提高射流盘检测的准确性和一致性，从而保证伺服阀的整机性能，为伺服机构的高可靠性提供有效保障。本文针对射流盘零件的尺寸及形位公差的高精度检测需求，采用CCD技术和图像处理技术对万能工具显微镜进行技术改造。整个检测系统由CCD图像采集装置、光栅测量系统、图像测量软件与万工显四部分组成。通过对CCD图像测量的实现方法与技术原理的研究，设计了仪器技术改造方案，确定了各元件的技术参数，对图像处理技术的流程与原理进行研究，并进行了硬件调试、精度校准和功能验收等工作，实现了万工显的CCD图像测量功能。此检测系统已实现了图像的采集、图像的处理与计算以及检测结果的输出。对射流盘的检测方式进行了系统设计，对检测系统的光学放大倍数、照明方式的选取和采点方式选取等进行了分析讨论。针对射流盘的基本尺寸与形位公差的检测，给出了具体的检测方法。本文还针对检测系统的误差来源进行了讨论。其中包括光学畸变、调焦清晰度和照明光源等影响因素，并提出了相应的解决方案。最后通过测量实验及数据分析，验证了检测系统能够满足射流盘的检测需求，实现了课题预期的研究目标。