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椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后的偏振态的改变来获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度的高精度、非接触测量方法。但是通过椭圆偏振测量只能得到椭偏参数Δ和Ψ,由椭偏参数求解薄膜结构参数的椭偏方程是一个超越方程,很难得到精确的解析解,因此一般采用数值反演迭代不断逼近测量数据,将最优解作为测量结果。本文对椭圆偏振光谱测量的数据处理进行了研究。研究了光学薄膜系统模型(结构模型和色散模型)的建立问题,通过模型计算,分析了椭偏参数的灵敏度区域与薄膜参数(折射率n、消光系数k和膜厚