纳米二氧化钛是一种重要的功能性半导体材料,迄今已广泛应用于电子、化工、环保等领域。锐钛矿结构二氧化钛光催化性能优异,但颗粒状二氧化钛由于易团聚、分离困难等因素限制了其应用范围,因此制备新型锐钛矿二氧化钛材料成为当前的研究热点。本文利用溶胶-凝胶技术使用乙酰乙酸乙酯做钛醇盐的络合剂,采用自制Drain-coating涂膜装置制备纳米锐钛矿二氧化钛薄膜及Fe³⁺、Cr³⁺改性的二氧化钛薄膜。使用X射线衍射仪、热重差热分析仪、扫描电子显微镜及紫外分光光度计等现代分析测试手段对薄膜的结构及性能进行了详细表征和测试。利用本文实验方法可获得锐钛矿二氧化钛及其改性的结晶薄膜,薄膜在基片上发生取向生长。而且薄膜仅有锐钛矿结构,没有其它结晶结构的出现,证明利用该法制备锐钛矿结晶结构二氧化钛及其改性薄膜切实可行。对于Fe³⁺掺杂的二氧化钛薄膜,当Fe/Ti≤3%时,Fe³⁺的加入使XRD衍射峰变弱,平均颗粒直径下降,阻碍了二氧化钛的晶粒生长,有助于制备小颗粒直径材料。而且在此掺杂量范围内,Fe³⁺可以较好的渗透到二氧化钛的晶格中。但薄膜的吸收边没有显示出随Fe³⁺掺杂量变化的规律性。而对于Cr³⁺掺杂二氧化钛薄膜,本文也对其相应的结构和性能进行了分析和测试。