二氧化碳气体薄膜传感器的制备及气敏特性研究

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二氧化碳气体是温室气体的主要成分。随着二氧化碳气体的大量排放,温室效应的影响已经逐渐地作用到了人类生产生活中。所以,探测二氧化碳气体的技术已经在许多领域变得极其重要且必不可少了,例如:农业生产、清洁能源、食品工业、化学工业等。二氧化碳气体由于其本身化学性质太稳定,导致对其敏感的材料相对较少。基于软硬酸碱理论,本文拟寻找敏感材料有带有胺基的有机材料等。带有胺基的有机材料作为二氧化碳薄膜传感器的敏感材料,具有成本低廉、制备简单、灵敏度高等优点,必然成为今后二氧化碳传感器发展的趋势。所以以HSAB理论为基础,使用QCM和SAW器件制备的二氧化碳传感器必将为二氧化碳传感器的研制提供一条新的途径。本文主要完成如下的工作:(1)首先配制了聚合物材料PEI以及THEED溶液,并通过掺杂的方法配制了PEI/Starch溶液。采用旋涂法将三种材料沉积在声表面波SAW器件上,测试了其对气体CO2、酸性气体NO2、碱性气体NH3的敏感效应。研究发现,掺杂淀粉后,对PEI有一定性能的改变。PEI/Starch对于CO2,NO2,NH3气体的频率变化都是最大,而THEED对CO2和NO2气体的响应恢复时间最快,而其对于NH3响应微弱。(2)采用旋涂法,制备出三种材料的QCM二氧化碳传感器,并测试了其相关敏感特性。测试结果显示,频率变化方面:PEI/Starch对于所有三种气体的频率变化都是最大的。响应时间方面:THEED对CO2的响应速度优于另外两种材料,对于NO2和NH3则几乎没有响应,PEI对于NO2和NH3的响应时间大于PEI/Starch。恢复时间方面:对于三种气体的回复时间与响应时间相类似,THEED对于CO2的恢复时间最快,对NO2和NH3几乎没响应。PEI对于NH3的回复时间最快。重复性方面:PEI/Starch与THEED材料的重复性都较好,而PEI的重复性较差。温度特性方面:PEI与PEI/Starch的温度特性相似,唯一不同的是,PEI/Starch薄膜传感器的频率变化比PEI薄膜传感器的频率变化大。THEED薄膜传感器的温度特性则不同,其随着温度升高,频率变化降低。
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