非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究

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随着光学技术的不断发展,非球面光学元件以其优越的光学特性被应用于多个领域,然而非球面光学元件在加工和检测方面存在的困难一定程度上影响了其广泛应用。环形子孔径拼接检测技术是一项新的光学测试技术,拓展了干涉仪的测试范围,增大了局部分辨率,给大口径非球面的高精度检验提供了有效手段,其关键技术在于子孔径的划分、孔径数目的计算和子孔径拟合拼接的数据处理方法。首先介绍了非球面光学元件和环形子孔径拼接技术,结合待测非球面的光学特性建立了适用的环形子孔径拼接模型,在此基础上推导了划分子孔径的新方法。设置
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