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随着微光电机械系统的快速发展，对光学元件小型化的发展提出了新的要求。传统的光学系统已经不能满足日趋微型化系统发展的要求。小尺寸、高密度的微透镜阵列元部件的发展为体积小、重量轻、集成化程度高的微机电系统中的信号传输、检测提供了技术支持与保障。阵列化的微透镜阵列可以在很小的尺寸范围内，将同一个信号阵列化分成许多份，使得信号在微尺度范围内放大和采集成为可能。透镜作为微光学系统中最重要的元部件之一，它的小型化、阵列化则成为微光学电机械系统发展过程中的重要研究方向。本论文依托国家“973”项目“纳米结