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扫描测量是实现高精度几何量测量的一种基本手段，然而，这种扫描装置一个先天的缺陷就是由于存在机械扫描装置，因而会存在磨损、振动、易受温度影响等问题。针对这一问题，本课题研究了两种非机械光束扫描的方法，分别是基于光学相控技术的光束扫描方法和基于声光偏转技术的光束扫描方法。这二种方法均具有原理上的优势，消除了旋转机械结构在测量精度、可控性、稳定性等方面固有的缺陷。光学相控技术是一种新型的电光式扫描技术，具有扫描速度快、随机存取、性能稳定、分辨率高等优点。本文在介绍了传统的光束扫描方法后，提出了光学