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基于TSV的石墨烯压力传感器设计与加工关键技术研究
【摘 要】
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石墨烯是一种力学与电学性能优秀的二维纳米薄膜材料,在作为核心敏感单元应用于压力测量器件时有着极高的研究价值,在大量程压力测量领域里也有较大的潜力。但由于石墨烯的单层结构,导致器件存在量程小、封装体积较大、稳定性较差、应用范围较小等问题,石墨烯实用化与商业化道路上最大的阻碍。本文提出了一种基于硅通孔(Through Silicon Via,TSV)的石墨烯压力传感器,并对其整体结构、工艺加工方案、光
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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