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软X射线能谱测量是ICF实验中的重要内容,测量意义重大。软X射线能诊断通过光谱分析,可以得到X射线总的通量,辐射温度,转换效率以及反照率。这些都是间接驱动黑腔热力学的重要参数。作为黑体腔特征诊断系统,软X射线能诊断系统测量黑体腔中发射出的X射线,可得出黑腔中辐射温度的时间变化图。针对目前常用的谱仪往往存在能谱分辨差,解谱困难等缺点,本论文研制了一种基于多层镜的软X射线能谱仪,以使软X射线能谱测量更高效、更精确。根据ICF实验对软X射线诊断的具体要求,结合多层镜自身特点,论文研究了现