【摘 要】
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本文采用Cu/siO复合靶,用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在n型Si(111)上制备出了CuO/SiO纳米复合薄膜，并应用X射线衍射(XRD)、傅里叶红外透射(FTHR)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)等测试技术分析了薄膜的结构、表面形貌以及光致发光性能。结果表明：未退火复合薄膜样品中的SiO和 Cu 主要以无定形形态存在。在NH中退火后,样品表面形成Cu
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本文采用Cu/siO<,2>复合靶,用射频磁控共溅射技术和后高温退火的方法在n型Si(111)上制备出了CuO/SiO<,2>纳米复合薄膜，并应用X射线衍射(XRD)、傅里叶红外透射(FTHR)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)和光致发光(PL)等测试技术分析了薄膜的结构、表面形貌以及光致发光性能。结果表明：未退火复合薄膜样品中的SiO<,2>和 Cu 主要以无定形形态存在。在NH<,3>中退火后,样品表面形成CuO颗粒薄膜,随着温度升高,颗粒结晶质量变好,但形貌还是颗粒状；经N<,2>中退火后,样品开始发生部分晶化,形成了颗粒尺寸较小的单斜相的CuO颗粒,而后随着退火温度的进一步升高,单斜相的CuO逐步发生相变,转化为颗粒较大的立方相的CuO镶嵌在SiO<,2>基质当中,当退火温度升高到1100℃时,形成CuO纳米线状结构,覆盖在SiO<,2>层上面。
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