当今世界,科学技术日新月异,工业生产技术也随着不断更新,厂商也在不断追求产品的小型化和便携性。在此背景下,本文提出了一种针对微波有源器件的快速测试方法,以微波开关芯片为背景,快速准确的提取其特征参数。本文将在10MHz~10GHz的频率范围内,针对微波开关芯片进行快速的多次测试,并将测试数据进行去嵌入等处理以减少误差,与官方数据进行对比,确定整个系统的准确性。第一,通过收集和查阅相关文献,对测试仪器以及目前存在的一些校准技术进行了简单的介绍,并提出了可以用来测试有源器件的方法。同时,对微波开关矩阵进行了简单的介绍。第二,对传输线的基本原理以及微波网络理论进行了详细的介绍和推导,并且在细致考察了矢量网络分析仪的误差的基础上,并对矢量网络分析仪的误差模型进行了推导与分析。第三,借由HFSS仿真软件设计了一套可以用于快速测试的等效电路,同时,对整个系统所需要的支架与校准件也进行了设计,并进行了验证。研究并组成一套微波开关矩阵,实现将矢量网络分析仪的两端口输出转化为三端口可控输出,方便快速测试。编写一套快速测试软件,并组成了一套完整的快速测试系统。第四,对其中只依靠校准无法解决的误差进行了更加详尽的推导与分析,提出了可以解决的办法。最后,对现有的几种微波开关芯片进行了快速测试,测试所得参数经过数据处理之后,与官方数据进行详细的比对,并对其中出现的误差进行了分析。本文能够在最高10GHz,最低100MHz的频段内,实现快速提取插入损耗与隔离度,误差≤6%,多次重复测试误差≤2%。