以钇钡铜氧YBa2Cu3O7-x(YBCO)为基底的多层膜结构在微电子行业具有潜在的应用前景。但是在YBCO多层膜的制备过程中,多层膜之间的膜界面处易产生扩散,薄膜膜层厚度控制困难,工艺重复性较差,因而制备成本高难以推广。本文采用溶胶-凝胶法制备YBCO/LNO(LaNi03)/YBCO三层膜结构,并结合化学修饰法对三层膜结构进行了微细加工。首先,采用低氟溶胶-凝胶法制备YBCO薄膜,研究了热处理的氧气氛、热处理温度对YBCO性能的影响,发现在700～800℃范围内均获得了具有良好超导性能的YBCO薄膜(Jc>1MA/cm2),并且在每个热处理温度下都有一个最佳的氧分压值。其中,775 ℃、78Pa条件下获得的YBCO薄膜Jc值最高,接近1 0MA/cm2。随后,在LaA103(LAO)基板上确定了 LNO薄膜的热处理工艺。发现热处理温度为750℃,氧分压为4kPa时,所获得的LNO薄膜具有良好的c轴取向,而且表面致密。在上述的研究基础上,采用热处理温度逐层递减的方式分别制备了LAO 基板/YBCO(800℃)/LNO(750℃)和 LAO 基板/LNO(750℃)/YBCO(740℃)双层薄膜。X射线衍射的ω和φ扫描结果表明,这两种双层膜结构均具有良好的双轴织构特征。然后,采用热处理温度逐层递减的方式制备了 LAO基板/YBCO(800℃)/LNO(750℃)/YBCO(740℃)三层膜结构。所制备的三层膜结构不仅具有良好的双轴织构特征,而且LNO薄膜在YBCO薄膜上共格生长,界面清晰,无明显扩散。最后,通过溶胶-凝胶和化学修饰相结合的方法,采用上述热处理工艺制备了十字交叉结构的YBCO/LNO/YBCO三层膜,为高温超导约瑟夫森结的制备提供了一种新思路。