【摘 要】
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该文结合国家"863"项目"机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究"及"实用化纳米级微坳机器人系统的研究",对基于LVDT和机构、驱动、检测一体化微动机器人系统进行
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该文结合国家"863"项目"机构、驱动、检测一体化纳米级微动机器人系统的研究"及"实用化纳米级微坳机器人系统的研究",对基于LVDT和机构、驱动、检测一体化微动机器人系统进行了实验研究,研制成功了一种适用微动机人系统实际的LVDT微位移测量系统.LVDT传感器具有结构简单、灵敏度和分辨率高、线性度和重复度好、价格便宜等优点,并且忽略磁芯的小惯量,属于非接触式测量,动态响应好.但是,以前其信号处理电路用分离元件组成,体积庞大,电路复杂,并且精度、稳定性都不能得到很好的保证.为了解决以上矛盾,该文研制了基于集成调理芯片AD598的LVDT微位移测量系统,具有精度高、抗干扰能力强、结构简单实用等特点.并根据LVDT微位移测量系统的特点,设计了静态和动态实验系统,在此基础上对LVDT的静态、动态特性进行了全面的测试.实验结果表明综合测量精度δ≤±0.1％,频率响应可以达到200Hz.最后,将测量系统集成于微动机器人系统中,对基于LVDT的机构、驱动、检测一体化微动机器人系统进行了闭环静态和动态实验,从静态性能上看可以达到消除迟滞的影响;阶跃信号上升时间小于20ms.
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