利用多弧离子镀和磁控溅射制备含钛陶瓷薄膜以及对膜性质的研究

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该论文利用多弧离子镀和磁控溅射技术在317L医用不锈钢及单晶Si(100)样品表面,采用不同工艺制备TiN、TiNC、TiC等含钛陶瓷薄膜.对所有薄膜的结构和物理性能进行测试和分析,比较几种薄膜在硬度、耐磨性、耐腐蚀性等机械性能,并讨论成纤维细胞,内皮细胞在不同样品表面、不同时间的贴壁生长和吸附特性.研究发现,实验所制备的多弧TiN、TiNC、TiC和溅射TiN薄膜,成分稳定,沿深度分布均匀,在薄膜表面都有碳、氧元素的污染.最后对薄膜的生物相容性进行了多项测试.多弧TiN,TiNC,溅射TiN和317L的接触角值相近,Si和317L基底对所做薄膜接触角的影响没什么差别.用电化学方法比较317L不锈钢空白试样和溅射离子镀,多弧离子镀两种不同方法制备的TiN薄膜的耐腐性能.
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