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光学薄膜器件是背投影光学引擎系统中的关键元件,其性能的好坏直接决定显示画面的颜色、对比度、亮度和分辨率。其中偏振与消偏振分束镜、宽角度宽光谱反射膜以及R、G、B颜色滤光片由于其设计和制备时的高难度,一直成为限制投影技术进一步发展的“瓶颈”,并成为投影用光学薄膜元件研制的关键,本文就是围绕这些关键器件展开研究。
采用多对Macnille对设计并制备出可见波段,空气中±8°入射角,平均Tp>90%,消光比大于1000的偏振分束元件。利用受抑全反射原理设计了一种大角度入射的偏振分束膜,和传统偏振元件不同的是其透射S偏振光,反射P偏振光,理论设计上可以实现在空气中±13°入射角,Ts>99.5%,消光比大于1000的性能。同样按照这种设计思想采用Ta2O5和SiO2分别作为高低折射率介质材料,以ZF7材料为玻璃基底,实际制备的薄膜元件可以达到空气中±11.5°入射角时,Ts>99%,消光比大于1000的实测性能。理论推导了光束倾斜入射时棱镜偏振分束元件的角宽压缩效应,利用这种原理可以有效降低膜系在设计过程中的难度,并讨论了倾斜入射在实际光学引擎系统中的应用方式。设计了一种专门用于宽角度宽光谱偏振分束膜光谱特性的测量装置,该装置能够同时给出两种偏振态的光谱透过率和消光比,性能稳定,成本低廉,具有非常好的实用价值。
利用受抑全反射原理设计了大角度入射条件下,棱镜中单层全波段消偏振分束镜(不考虑材料色散),研究了单层消偏情况下膜层折射率、基底折射率以及入射角之间的关系,分析了膜层厚度对分光特性的影响。同时利用该原理分别设计了可见波段,入射角为45°和62°,T/R=1的宽光谱消偏振分束镜。
研究发现金属Cr/Cr-Ag双过渡层不仅能够提高金属银膜光谱反射率,同时能提高金属银和玻璃基底之间的附着力,具有双过渡层结构的金属银还具有超强的耐温湿性能。系统比较了MgF2,Al2O3,SiO2和金属银膜之间的附着力和耐温湿性能的关系,结合光谱特性的计算,发现MgF2是作为金属银膜加强介质膜系低折射率材料的最佳选择。在以上两个结论的基础上,设计了适合投影用的金属加介质型宽角度宽光谱反射膜,其光学性能可以达到空气中0-70°入射,整个可见波段反射率大于98%,膜层牢固,具有良好耐温湿性能。
采用了界面膜层优化的算法,设计并制备了具有宽截止特性的R、G、B颜色滤光片,由于非规整膜层少,因此具有较好的可制备性。通过对折射率、膜层厚度、入射角度的误差分析,发现这种算法得到的膜系结构容差大,稳定性强。实际元件高温退火前后的光谱漂移小。由于具有优良的光谱特性,这种方法设计制备的元件非常适合投影系统使用。