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流量阀是液压系统中的一个重要元件,其作用是控制流体的流向、流量以及压力。一般工程上需要对流体进行控制,用的大多是传统的电磁力矩马达驱动式的控制阀,这种阀结构复杂、体积大、控制精度低,难以满足对微流量流体的精确控制,特别是高压下的微流量流体的精确控制。本文利用压电陶瓷材料作为驱动元件,配合金属橡胶材料,设计了一种新型的压电驱动精密流量阀。由于压电陶瓷具有微/纳米级的精密位移输出能力,使得压电驱动精密流量阀能利用其高位移分辨率控制阀芯的开启,从而实现精密的流量输出控制,并且将金属橡胶安装在阀的进出口处,