单层PZT薄膜和双层PZT薄膜的制备及物性研究

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【摘要】

：

PbZrxTi1-xO3 (PZT)铁电薄膜因具有一系列优异的铁电、压电、热释电、以及介电性能和显著的电光、声光及非线性光学效应,被广泛用来制作非易失性存储器、微型马达、微型传感器、非致冷红外探测器等。但在实用化方面,由于存在漏电流大、极化易疲劳等缺点,用PZT薄膜做成的器件使用寿命短。通过优化薄膜制备工艺、电极材料或者添加缓冲层可以有效提高PZT薄膜的相关物理性能,特别是有助于改善薄膜的抗疲劳特

【作者】

：

赵晓英

【机构】

：

上海师范大学

【发表日期】

：

2009年04期

【关键词】

：

PZT 铁电薄膜钙钛矿异质结构光波导

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