在用金刚石刀具超精密切削单晶硅的过程中，刀具的后刀面会发生沟槽磨损，会严重影响被加工件的表面质量。金刚石刀具后刀面沟槽磨损机理目前还不十分清楚。本文应用分子动力学仿真手段，证实了金刚石刀具切削单晶硅过程中石墨化的产生，分析了石墨化磨损过程，研究了切削参数和刀具钝圆半径对石墨化磨损程度的影响。论文主要内容如下：1)建立了纳米切削单晶硅的金刚石刀具磨损分子动力学模型，仿真分析了切削过程中刀具不同区域的受力及刀体温度变化，并利用VMD可视化软件截取了切削过程中刀具磨损图像，测量了刀具切削刃处表层及亚表层碳原子之间的键角与键长。应用分子动力学模拟的方法观测到了金刚石刀具局部的石墨化现象和石墨化形成过程，分析了刀具石墨化磨损机制。2)通过计算切削过程中不同时刻刀具碳原子配位数的变化，从另一个角度说明了金刚石刀具石墨化磨损的产生，得到了不同时刻刀具的石墨化转化率以及变化趋势。3)通过变换切削参数及刀具钝圆半径，研究了不同的切削参数和刀具几何形状对金刚石刀具石墨化磨损程度的影响规律。切削厚度越大，磨损率越高，金刚石刀具石墨化磨损程度就越大；刀具的钝圆半径越小，石墨化的程度就越剧烈；切削速度的大小对于刀具碳原子石墨化转化率的影响不是十分显著，但切削速度越大，刀具石墨化转化的速率越快，切削速度越慢，刀具的石墨化转化率上升的速率越慢。