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基于隧道磁阻检测的微陀螺结构设计与加工
【摘 要】
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惯性技术是未来的发展方向,它的发展取决于惯性器件的发展,微机械陀螺是微惯性系统中的核心器件。目前高精度微陀螺的研制一直是我国尚未攻克的难题,其核心技术是哥氏力的检测,随着陀螺器件的微型化,常规电容检测效应由于接口分辨率、工艺加工和寄生电容等问题使得检测分辨率受限,难以实现高精度检测。所以,在发展主流检测的同时大力开展新效应、新原理的微机械陀螺研究。隧道磁阻效应(TMR)是第四代磁传感技术,其产生机
【机 构】
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中北大学
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2019年09期
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