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现代制造业的发展对三坐标测量机提出了更高的测量速度和精度要求。测量机测量速度的提高引起测量加速度与结构惯性力增大,振动加剧,导致了测量机的动态测量精度下降,因此测量机高的测量效率与高精度存在着矛盾。为了解决这个矛盾,本文深入分析测量机的动态误差源,合理设计测量机动态误差分离实验装置,对测量机动态误差进行分离,并应用有效的数学建模方法对动态误差值进行建模修正,提高测量机动态测量精度。首先对测量机各个组成部分结构进行了详细研究,深入分析测量机动态误差的主要来源与相互关系,重点研究了气浮导轨对