纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定

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现代制造业的发展对三坐标测量机提出更高的速度和精度要求,特别是随着电子工业的发展,精度参数多为纳米级的微型仪器不断出现。本文以正在研制的新型纳米三坐标测量机为对象,在研究纳米三坐标测量机结构特征和受力分析基础上,对影响纳米三坐标测量机精度的主要误差源进行分析。根据纳米测量机的结构和精度要求,选用测量头和激光源分开的三光束平面反射激光干涉仪SP2000-TR设计误差分离装置,设计了纳米测量机各单项误差的分离方案,实现了测量机示值误差、角运动误差、直线度运动误差的一次性分离。研究基于速度瞬时中心的工作台
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