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由于金属中氦行为的研究涉及国防和能源领域的材料应用,一直受到各国研究者的关注。为了研究氦原子对材料宏观性能的影响,首先要探求将氦引入材料的方法。常见的金属氚化物、中子辐照、离子注入三种氦引入方法在安全、简单易于重复、需时较短、一定浓度及分布均匀性、对晶格损伤的需求方面都有比较大的缺陷。本研究小组提出了以氦氩混合气体为工作气体的直流磁控溅射方法来制备含氦钛膜,该方法实验周期短,晶格损伤低,含氦样品体分布均匀,且氦引入量可控。本文在第一部分进一步研究了该种氦引入方法,在实验研究的基础上,重点从理