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随着MEMS技术的不断发展,越来越多的微器件需要进行精密三维测量。如何快速准确检测微观轮廓形貌,已成为现代精密测试技术与仪器研究的重要课题,所研究的并行共焦探测方法是使微小轮廓的快速高精度检测成为可能。 本项目来源于国家自然科学基金项目“纳米三座标测量机关键技术的研究”和教育部科学技术研究重点项目“基于微光学的多功能三维探测头的研制”。本论文首先概述了并行共焦探测的工作原理和系统的总体结构,然后详细阐述了系统的光路设计及装调结构设计。为克服传统“极大值法”的缺点,提出了一种