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电致变色是指材料颜色在外加电场的作用下发生可逆变化的现象。三氧化钨(WO3)是一种重要的电致变色功能材料，WO3薄膜变色前后具有较大的可见光透过率变化幅度、优良的可逆性、较低的成本、较长的循环使用寿命以及环境友好等优点，具有广泛的应用前景。本文采用射频磁控反应溅射法，以纯度为99.99%的钨靶为溅射靶材，在玻璃衬底上制备了WO3薄膜，氧氩比为5sccm:25sccm，工作气压为1.5Pa，所有样品退火气氛均为氩气，温度为400℃，保温时间为60min。研究了不同溅射功率对WO3薄膜的物相组成以及表面形貌的影响。采用Al2O3、ZnO混合粉末烧结制备Al掺杂ZnO(AZO)陶瓷靶材，通过射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备AZO薄膜。详细研究了AZO薄膜制备过程中工作气压、溅射功率、退火温度对AZO薄膜光学以及电学性能的影响。最佳的磁控溅射制备工艺：工作气压为0.5Pa，射频溅射功率为120W，氧氩比为0sccm:25sccm。玻璃衬底上制备AZO的最优退火工艺为：退火气氛为氩气，退火温度为400℃，保温时间为60min。制备的AZO薄膜最低的电阻率为7.88×10-4Ω·cm。初步研究了AZO薄膜的节能性能。采用Li2CO3、TiO2以及La2O3粉末制备钛酸镧锂(LLTO)陶瓷靶材。通过射频磁控溅射制备LLTO薄膜，并测试了LLTO薄膜的离子电导率。以AZO薄膜作为透明导电层材料，在ITO衬底上制备了WO3薄膜，组装电致变色器件并进行测试，结果表明溅射功率为100W-70W的WO3薄膜的电致变色性能最优。在玻璃衬底上设计并制备了AZO/Al2O3/AZO节能薄膜，制备的AZO/Al2O3/AZO节能薄膜在近红外(700nm-2500nm)波段透过率低于玻璃的透过率，并且在1100nm处反射率最大，为32%。