【摘 要】
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为了满足恒星模拟器成像系统的要求,针对系统中的关键部件,本文以Preston原理为基础,对非球面H-FK61光学玻璃元件的加工工艺进行了研究。通过对研抛过程中各项工艺参数的分析
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为了满足恒星模拟器成像系统的要求,针对系统中的关键部件,本文以Preston原理为基础,对非球面H-FK61光学玻璃元件的加工工艺进行了研究。通过对研抛过程中各项工艺参数的分析,经过反复实验优化,解决了H-FK61光学玻璃材料质软且脆、不耐高温、不易加工的问题。其次,本文以Ti3O5和Si O2为高低折射率材料,利用高反射膜堆叠加和添加匹配层进行优化设计的办法,设计了干涉截止滤光膜。在薄膜制备过程中,通过对各膜层残余蒸镀的研究与分析,解决了薄膜光谱曲线向长波方向漂移和通带透过率下降的问题。经检测,Φ76mm H-FK61光学玻璃元件非球面面形精度为0.4322μm,干涉截止滤光膜在450nm-800nm波段平均透过率为95.7%,300nm-420nm、850nm-1200nm波段平均反射率分别为99.7%和99.6%,各项数据均符合部件的设计要求。
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