X-Y精密工作台电控系统的研制

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本文论述了精密工作台电控系统的结构及工作原理,它主要应用于准分子激光光刻技术中。光栅位移检测系统和闭环伺服控制系统,是由微机来控制的,它们可以通讯,以交换数据或是传递控制信息,实现高精度的定位.各部分又可以独立运作,以完成自己的特定功能。文中讨论了应用CPLD器件来简化电路的设计。微机和下位机的通讯采用RS232串行接口,适用于远距离通讯。其电路设计简单而且功耗低。上位机系统软件采用LABVIEW图形化编程环境,通过交互式图形化前面板来控制系统,并显示结果。
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