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有机蒸汽检测在大气/微环境监测、医疗诊断和食品安全检测等领域显示了良好的应用前景。为了满足实时、在线、快速检测的要求,研究具有全固态、小型化、高灵敏、快速响应等优点的半导体氧化物气体传感器越来越受到人们重视。在半导体氧化物气体传感器中,SnO2气敏材料得到了广泛的应用。但是,单一的SnO2材料的灵敏度和选择性并不高,通过掺杂贵金属和氧化物可以显著提升其气敏性能。本文以SnO2半导体氧化物为主要研究对象,利用水热法和超声喷雾法制备了氧化物掺杂的SnO2气敏材料,研究了合成条件对材料形貌、结构、比表面积等特性的影响,测试了对乙醇、丙酮气体的响应性能。主要研究内容如下:（1）利用水热法制备In2O3微米花和SnO2纳米粒子。SnO2材料由纳米颗粒组成,其粒径约为20-30 nm;In2O3微米花的直径约为1-1.5μm,由聚合的纳米片组成。将两种材料混合后,对复合材料的气敏性能进行测试,结果显示当In2O3与SnO2的质量比为2:1时,材料具有最佳的气敏性能,传感器对乙醇的响应很高,对100 ppm的乙醇的最佳响应发生在器件的最佳工作温度250℃,响应值为53.2。在紫外光辅助下,可以降低湿度对传感器灵敏度的影响。（2）利用超声喷雾法制备Fe-SnO2微米球。为探究最佳的热分解温度,首先制备SnO2微米球,喷雾溶液为Sn Cl4溶液。设置炉内温度分别为500℃,600℃,700℃和800℃,制备出4种气敏材料。对4种材料进行气敏性能的测试,结果表明当反应区温度为600℃,所得的材料气敏性能最优。在最佳工作温度为275℃时,S600对20 ppm丙酮的响应值为8.2。在此基础上,设定反应温度为600℃不变,在超声喷雾的前驱液中加入一定量的Fe Cl3。实验结果表明,Fe与Sn的摩尔比为8:100时,Fe-SnO2材料对丙酮表现出最佳的气敏性能,在250℃下,此材料对10 ppm丙酮的响应值为6.5。