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随着航空航天光电系统的发展,红外透明导电薄膜以其优异的导电性能和红外光学性能引起了科研工作者的广泛关注。在光电窗口表面增镀红外透明导电薄膜既可以使得前置探测器在探测红外信号的同时不受电磁波的干扰。然而,根据德鲁德自由电子理论可知,导电性能与宽波段透过性能是一对矛盾体,使得红外高透过和电磁屏蔽不能协调。因此,解决光电性能之间的矛盾显得尤为重要。本论文通过两步法,利用双靶磁控共溅射和高温高压反应釜制备出了具有良好导电性能和宽波段高透过性能的Mg-C-O-H薄膜。通过探讨不同C靶溅射功率、衬底温度、退火温