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本文结合面向IC封装的高速精密定位系统的开发,对所研发的两自由度高速精密定位平台的动态性能进行了详尽的试验分析,并对音圈电机直驱的高速精密定位平台的动力学控制算法及气浮技术等进行深入研究,全文工作和取得的成果如下:利用激光干涉仪对定位平台各轴的静、动态性能进行试验研究。通过对定位平台的阶跃响应、方波响应(循环运动)及连续输入的响应等不同工况的分析,结论表明系统的静态性能良好,而动态性能不能满足预期要求。此外,精密定位平台的摩擦阻尼、惯量、刚度等动力学参数的时变性,导致系统加速度波动较大。针