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矢量水听器作为一种能够同时获得声场标量信息和矢量信息的水听器，得到国内外水声领域的高度重视。由中北大学研制的二维MEMS仿生矢量水听器具有体积小、低频响应好，刚性安装等优点，但也存在只能实现二维平面定向，无法有效确定水下目标空间方位的缺陷。为实现水下声目标空间定向，本文对MEMS仿生三轴向压阻矢量水听器进行了研究。首先，本文在分析研究鱼类侧线感觉器的基础上，设计了水听器的MEMS仿生三轴微结构；应用声学、弹性力学等知识，结合ANSYS有限元分析软件，对MEMS微结构进行分析，得出了结构参数和