在过去的10年里，许多现代显微技术和仪器得到了长足的发展。在表面科学、生物学、微电子产业和纳米科技等领域发挥出巨大的作用。但这些显微观测手段仅仅对样品表面或者比较薄的样品进行小尺度的分析和检测，不能对较厚的材料或器件内部进行三维结构的微观检测和分析。　　为了弥补传统X射线成像设备（医用及工业CT）在微小尺度和低反差成像方面的局限性能力，本课题所隶属的项目[国家重大科学仪器设备开发专项—X射线三维显微成像系统研制与应用开发(2011YQ0301112)]在国内率先研发出自主知识产权的X射线三维显微检测系统，本课题是这个系统中的微焦斑X射线源的组成部分。　　本论文设计了一种应用于X射线微焦源束流控制的独立可调直流电源。前置电源采用串联型稳压电路。主电路采用改进的半桥逆变电路，由芯片TL494提供双端推挽脉冲驱动IGBT。逆变变压器为特制高频中压变压器。通过调节串联在主电路中的功率晶体管来改变变压器原边电压，通过反馈系统确保输出电压的稳定，通过TL494的死区关断功能实现主电路过流保护。最终实现0-3000V连续可调直流输出。实验分别测量了前置电源和主电源的纹波电压，TL494脉冲输出，调幅电路对输出电压的控制，电源效率等，各项实验数据均达到预期值。