垂直腔面发射激光器及其光电特性分析

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垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,简称VCSEL)是一种半导体激光器,因其具有很低的阂值电流,易于光纤耦合,很大的信息传输量,便于二维集成等特性得到了广泛的应用。本论文设计并制备了新型结构的VCSEL并对其光电特性进行了检测,主要内容如下:本论文详细阐述了VCSEL的基本原理及其应用。对VCSEL的结构进行了分析,由于传统VCSEL一般为圆柱状对称结构,具有偏振不稳定性,容易产生偏振态变换现象。为了解决上述问题,本文对VCSEL的偏振控制进行了探讨,对国内外偏振的控制方法进行了研究。我们的主要工作有两个:1、提出了一种偏振控制方法,即刻蚀椭圆形台面VCSEL,对它的偏振特性进行了改善。2、对VCSEL的电极结构进行了优化,设计了一种新型的电极结构即双椭圆形电极结构,改善了VCSEL的出光质量。我们还对椭圆结构VCSEL制备的关键工艺进行了研究,通过实验我们制备传统结构的VCSEL和有新型电极结构的椭圆形VCSEL,对传统结构和新型结构的性能进行了测试和分析,实验结果显示椭圆形VCSEL对偏振起到了很好的控制作用,双椭圆形电极结构改善了VCSEL的出光质量。
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