二维多自由度激光测量系统研制

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本文研究和构思了一种二维多自由度激光测量的方法和装置,可用于大行程二维工作台的高精度定位控制。利用同一个激光测量光路,所研制的角度和位移同时测量系统,解决了目前几何量测量仪器一次只能进行单参数测量的局限。本论文主要完成了以下工作:(1)二维多自由度激光测量方法的研究,并介绍了激光同时测量角度和位移的测量原理;(2)二维多自由度激光测量系统的设计;(3)激光光源进行光纤耦合并实现1*2光纤分光;(4)角度和位移同时测量系统的光路设计及分析;(5)测量系统的机械设计及调试:(6)测量系统信号处理电路的设
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