近年来,微阵列透镜因其具有高像质、大视场、高均匀性和轻量化等优点,现已成为摄像镜头、光通信、红外探测、智能制导等系统中最引人注目的核心器件。目前,光学玻璃模压成形技术是获得高精度、大批量、低成本微阵列透镜最为有效加工方法。但是在微阵列透镜光学模压成形过程中,微结构阵列模具的加工质量对微阵列透镜产品的性能和成本起着关键性作用。传统的模具冷加工技术难以加工出单元尺寸小、数量多、深宽比大、具有微细尖端的微结构阵列模具。本文应用慢走丝线切割加工工艺,在C71500铜镍合金上加工出微金字塔阵列结构,获得高精度玻璃模压用模具,并利用自主研发的微金字塔阵列模具进行模压实验来验证模具的加工质量及成形性能。本文的主要研究内容包括以下三个方面:(1)分析了电火花线切割工艺参数对工件加工精度和表面质量的影响。确定微金字塔阵列模具尖点表面粗糙度和圆弧半径作为试验的工艺指标,选取脉冲宽度、脉冲间隙、走丝速度、峰值电流作为影响因素。采用单因素试验法、拐角加工技术、多次切割成形法作为试验方法,研究精密线切割加工参数对微金字塔阵列尖点表面粗糙度和圆弧半径的影响规律。(2)对影响微金字塔阵列模具尖点表面粗糙度和圆弧半径的工艺参数进行了实验分析,并对微金字塔阵列模具结构的不均一性现象进行研究,优化慢走丝线切割加工工艺参数,提高微金字塔阵列模具表面质量及加工精度。结果表明:加工后尖点表面粗糙度随脉冲宽度的降低而减小,随脉冲间隙的增大呈先减小后增大的趋势,随走丝速度的增大而减小。尖点圆弧半径随脉冲宽度的降低而减小,随脉冲间隙及走丝速度的增大而减小。经过综合优化,当脉冲宽度为6μs,脉冲间隔为14μs,走丝速度为6m/s,峰值电流为8A时,可加工出尖点表面粗糙度为Ra9nm、顶角范围60.53°-60.74°、尖点圆弧半径5.41μm、深宽比约为0.66的微金字塔阵列模具。相比优化前,表面粗糙度降低60.9%,尖点圆弧半径减小53.0%。(3)利用自主研发的微金字塔阵列模具进行模压实验,研究模压速度、模压温度、下压量对模压后微金字塔阵列透镜成形深度的影响规律。基于试验结果,优化模压工艺参数,提高了微金字塔阵列透镜的成形精度。同时通过模压出精密微金字塔阵列透镜,验证微金字塔阵列模具的使用性能。