【摘 要】
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标准化工作在干涉仪的研究和生产过程中有着重要的作用。干涉仪标准是急需解决的工作。论文主要讨论了干涉仪标准的若干问题，研究了目前已有的干涉仪及其标准化状况，分析了计量保证方案对干涉仪标准的指导意义。提出了干涉仪标准和检定规程的框架。以数字波面干涉仪为例，制定了干涉仪的标准和检定规程，并研究了提高干涉仪性能的数据处理方式。
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标准化工作在干涉仪的研究和生产过程中有着重要的作用。干涉仪标准是急需解决的工作。论文主要讨论了干涉仪标准的若干问题，研究了目前已有的干涉仪及其标准化状况，分析了计量保证方案对干涉仪标准的指导意义。提出了干涉仪标准和检定规程的框架。以数字波面干涉仪为例，制定了干涉仪的标准和检定规程，并研究了提高干涉仪性能的数据处理方式。
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