MWECR CVD法制备B-C薄膜的工艺研究

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【摘要】

：

本文综述了当前B-C化合物的研究概况,简单介绍了几种制备B-C化合物的常用方法,并概述了目前人们已发现的B-C化合物的各种特性。本实验采用乙硼烷(B2H6)为B源,乙烯(C2H4)为C源,利用微波电子回旋共振化学气相沉积法(MWECR CVD)沉积得到了B-C薄膜。主要研究了源气体C2H4/B2H6摩尔比、工作气压、沉积温度以及微波功率对薄膜成分、价键结构以及沉积速率的影响。通过EDS谱对样品成分

【作者】

：

于霞

【机构】

：

燕山大学

【发表日期】

：

2008年11期

【关键词】

：

B-C MWECR CVD 沉积速率价键结构 XPS

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