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面向芯片封装的运动系统,由于芯片尺寸越来越小,机械系统的行程越来越短,对系统的响应速度、精度都提出了更高要求。由此对运动控制器的设计要求也越来越高,高速度、高精度已经成为运动控制器设计考虑的非常重要的因素。本文以面向芯片封装的一类直线伺服系统—直线电机驱动的X-Y运动平台为研究对象,针对整个运动平台设计了一款直线电机运动控制器。设计内容主要包括四部分内容。(1)直线电机平台的建模分析。对电机的动力学模型进行了构建,为电机控制器的设计提供了基础。(2)主控平台的设计