【摘 要】
:
半超结快恢复功率二极管是在超结快恢复功率二极管的基础上加入底端辅助层来实现的。由于底端辅助层的加入,半超结二极管的反向恢复软度因子和耐压较超结二极管均相应的提升,同
论文部分内容阅读
半超结快恢复功率二极管是在超结快恢复功率二极管的基础上加入底端辅助层来实现的。由于底端辅助层的加入,半超结二极管的反向恢复软度因子和耐压较超结二极管均相应的提升,同时更好的减小了器件的导通电阻和反向恢复时间。底端辅助层的加入在提升了器件特性的情况下大大的减小了超结部分的工艺制作难度。半超结快恢复功率二极管的电学特性很大程度上取决于其工艺制作,因而,研究其工艺过程对于优化器件结构和性能有着很大的意义。 本文分析了半超结快恢复功率二极管的结构特点和工作原理,重点研究其制作工艺,并用ISE-TCAD软件对器件的制造工艺进行了模拟仿真,通过优化最终给出了半超结快恢复功率二极管的工艺参数和实施步骤方案。 首先,确定了半超结快恢复功率二极管的结构尺寸和工艺参数,对器件的工艺参数进行了理论分析,并主要分析了各个区域掺杂浓度和结构尺寸对器件的动态特性和静态特性的影响。 其次,通过ISE-TCAD软件对器件的制造工艺进行了设计模拟,重点分析了超结部分制作工艺的难点和改善办法。同时对比器件的工艺参数,如改变器件的外延厚度、退火时间、离子注入剂量及浓度等工艺参数,来仿真器件的反向恢复特性、反向阻断特性和正向导通特性。并通过这三种特性调整工艺参数,优化器件结构,使半超结快恢复功率二极管的各项参数得到均衡。 最后,通过对器件工艺的理论分析和特性对比,提取出器件的最优工艺参数,分析并总结了工艺流程中的主要难度,最终确定了硅结构半超结快恢复功率二极管的工艺参数和实施方案。
其他文献
摘 要: 随着课改深入,越来越多的学校将音乐课程作为必不可少的课程开设,学生的兴趣和要求得到足够重视,但是现阶段小学音乐教学中仍然存在这样一个现象,学生学习音乐的兴趣不浓厚,特别是高年级学生更是张不开嘴,提不起兴趣。面对这样的窘况,音乐教师应该给予学生更多平台,给学生提供丰富多样的学习内容,力图唤醒学生学习兴趣,最终实现音乐对人的积极培育作用。 关键词: 搭建舞台 兴趣课程 个体需要 现
为弥补SiC在近红外光电子领域应用的不足,基于红外光敏β-FeSi2直接带隙半导体材料,提出了一种β-FeSi2/SiC异质结近红外光电二极管探测器。本文以β-FeSi2/SiC光电二极管为研
有效提问是提高数学课堂教学有效性的重要环节。课堂提问是指教师在课堂教学过程中通过指出问题,并针对学生的回答及时了解学生的学习状态,适时调整教学策略,启发学生思维,促使其
摘 要: 游戏是儿童的天性,儿童的生活离不开游戏,游戏内容来源于儿童,前苏联阿尔金称游戏为“幼儿的心理维生素”,可见游戏对儿童的影响之大。在校外儿童音乐教学过程中,教师合理地选择游戏辅助教学,最大限度激发儿童学习音乐的兴趣,调动儿童学习音乐的积极性与主动性,是提高音乐教育教学质量的有效方法之一。本文就游戏在校外儿童音乐教学中的应用进行简单分析,以供参考。 关键词: 游戏 校外儿童 音乐教学
随着无线传感网(WSN)在环境科学、交通管理、灾难预测、城市信息化建设等领域的快速发展,其重要性越来越突显。WSN由大量的无线传感器节点组成,每个节点都有数据采样、处理、控制
中空微纳球是一种具有独特形态和结构的新型材料,粒径处于纳米级到微米级,由于其具备的特殊结构,中空微纳球材料被广泛地应用于化学和生物催化、药物载体、多孔陶瓷、光学材
摘 要: 采用魔术、打赌等方法,可以提高学生的注意力,激发学生学习科学课的兴趣。 关键词: 科学课 魔术 打赌 注意力 激发兴趣 如何提高科学课的趣味性,激发学生学习兴趣,一直是很多老师在探索的问题。我在教学实践中摸索出点滴心得,在这里介绍给大家,供同事们在教学中参考,希望能起到抛砖引玉的作用。 科学课对学生来说,看演示实验就比听讲课有趣,亲自动手做实验就比看演示实验还有趣。因此,
本试验选择昭苏马场69匹母马品种,为伊犁马、新吉尔吉斯骑乘型马、新吉尔吉斯乳型马、奥尔洛夫马和俄罗斯速步马5个品种的孕马为研究对象。采用高效液相色谱法测定和分析17α-
在德育日益受到重视的今天,学科教学的德育功能逐渐被人们认可,许多教育工作者摸索总结出了许多行之有效的方法,但在实际教学过程中,尚存在诸多问题。学科德育如何实施才能走
CuInS2材料是直接带隙半导体,禁带宽度为1.50eV,接近太阳光吸收的最佳带隙1.45eV,具有105cm1数量级的光吸收系数,是理想的太阳能电池吸收层材料之一。本文研究了采用固态硫源硫化法制备CuInS2薄膜及其光电特性的影响因素,采用磁控溅射法制备Cu-In合金预制膜,硫化Cu-In合金预制膜得到CuInS2薄膜。采用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),能谱分析(EDS),紫外可见光