用微波等离子体的过渡族金属对金刚石膜表面处理的研究

来源 :吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ChengpCN

【摘要】

：

该文利用微波等离子体及过渡族金属对金刚石膜表面进行处理.通过微波等离子体对膜表面进行刻蚀,研究了温度、气体浓度对金刚石膜表面刻蚀的影响,由此讨论了金刚石膜的结构特

【作者】

：

郝世强

【机构】

：

吉林大学

【出处】

：

吉林大学

【发表日期】

：

1999年期

【关键词】

：

表石处理微波等离子体金刚石膜表面刻蚀结构特性

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

该文利用微波等离子体及过渡族金属对金刚石膜表面进行处理.通过微波等离子体对膜表面进行刻蚀,研究了温度、气体浓度对金刚石膜表面刻蚀的影响,由此讨论了金刚石膜的结构特性.用过渡族金属对金刚石膜表面进行反应腐蚀,通过X射线衍射谱及Raman光谱研究了Fe、Co、Ni三种金属对金刚石膜表面的腐蚀作用,并对腐蚀后的金刚石碳相和石墨相出现的原因.

其他文献

n-d破裂反应的实验研究

通过研究氘核及核子-核了散射实验获得了有关核力的信息,将这将这些信息用于三核子体系,可以有效的检验并加深对核力认识.因为三核子系统是一个既能进行实验测量,又能精确计

学位

核子散射三核子系统n-d破裂反应

专家论学较品牌修炼术

近年来,“品牌”,作为一个经济学的概念,被用于教育领域,“学校品牌”一词也频频见诸书报期刊.在学校品牌的形成过程中,究竟有哪些方面是其关键要素?为此,编者摘编了几位学术

期刊

专家学校品牌学术水平形成过程教育领域关键要素影响力经济学摘编书报期刊观点概念

烟云三秋之二

请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.

期刊

创意搞笑的小黄

请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.

期刊

小黄

聚合物、聚合物与无机复合纳米微球的合成、结构表征及摩擦学行为研究

有机小分子化合物表面修饰纳米微粒用作润滑油添加剂,在较低负荷下(800N)主要是无机纳米核起承载和抗磨作用.但在中等负荷下(500-800N),其摩擦学性能不稳定.为了解决中等负荷

学位

纳米微球摩擦化学聚苯乙烯聚苯胺

分子筛催化剂结炭问题的NMR研究

沸石分子筛由于其高酸性、活性、选择性以及规整的孔道结构和表面化学物理性质,在石油化工工业中得到了广泛应用.但在包括催化裂化等几乎所有的极机催化过程中,都存在着分子

学位

结炭问题固体高分辨核磁共振动态核极化分子筛催化剂

德国Pellets公司发行债券

德国:欧洲领先的木质颗粒和动物草垫用品公司德国Pellets公司发行了价值7500万欧元的债券,该债券还包括一个高达2500万欧元的增长选项。在5年中,固定年利率为7.25%,最小投资

期刊

发行债券选项生产能力木质颗粒绿色电力高达购销合同热电厂分销网络

图书的3D纸艺变形创意

◎我们喜欢读的书就应该让它出现在现实中!so,她就在相应的书中制作了相应的折纸雕刻。看看你能看出哪些读物来!!Harry Potter那个貌似最明显! ◎ We like to read the book

期刊

纸艺PotterHarry

小能量打靶条件下的受激Brillouin散射的实验研究以及Thomson散射的理论研究

学位

等离子体Thomson散射动力学

有关修改引力若干问题的研究

爱因斯坦广义相对论是物理学史上的一个奇迹，它不仅在数学形式上完美无暇，而且还对天体物理乃至宇宙学观测给出了精准又超前的预言。尽管如此，它在红外和紫外端的表现，并不令人十

学位

有质量引力非极小耦合规范不变性标量-张量引力

用微波等离子体的过渡族金属对金刚石膜表面处理的研究

与本文相关的学术论文