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二氧化钒(VO_2)薄膜具有良好相变性能,在开关调制、可调谐滤波、传感器等领域的商业应用前景广阔。在低于相变温度或较低的温度下,VO_2薄膜呈绝缘或半导体相,阻值很高且光透过率高,但是随着温度升高超过相变温度后,VO_2薄膜会快速变成金属相,阻值呈数量级下降。目前氧化钒相变的研究以热致、电致、光致为主,通过这些诱导信号使其处于绝缘和金属的两种不同状态,实现调制开关的作用。作为调制开关类器件,VO_2薄膜应满足:较大的相变幅度,较低的相变温度,较小的回线宽度。为了达到这个要求,一般通过掺杂,缓冲层等手