复曲面镜加工与检测技术研究

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由于人们对高科技的追逐和精密技术的持续钻研,有关非球面的加工技术也得到了相应的提升。特别是随着航天航空技术、电子科技、光学制造技术的不断发展,我国天宫一号和神舟系列飞船的升空。这就对仪器零件中非球面光学器件的精度、光洁度和成像质量有了更高的要求。复曲面镜多用于代替光学镜片组、精简仪器结构和提高成像质量。复曲面反射镜反射后不像平面反射镜、球面反射镜那样会出现图像变形等一系列问题,减少了光学镜片的使用量。然而,由于复曲面镜的面型的特殊性,很难保证复曲面面型精度和光洁度同时达到要求。本文就上述问题,以Rx为250.7mm,Ry为165.7mm的复曲面透镜元件为实验对象,针对复曲面的加工技术进行了深入研究,对复曲面镜铣磨进行了一系列误差分析,对复曲面镜的检测技术进行了深入探讨,优化了加工工艺流程,最终得到较理想的面形精度。针对复曲面镜的特殊性质设计了一种抛光模,解决了复曲面镜在抛光过程中的边缘效应问题和中心厚度偏差等加工技术难题。
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