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面向光子集成和光电集成的微纳光学谐振腔研究
【出 处】
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北京邮电大学
【发表日期】
:
2021年01期
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随着本世纪初光通信行业和集成回路技术经历了前所未有的飞速发展后,集成光子学逐渐获得了越来越多的关注。硅基光子学有诸多优点,例如小尺寸、低成本、高集成度和互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容的制造工艺。由于光通信的大带宽、高速率特性,硅基光子学有潜力成为光电子集成电路的主要平台。与此同时,光子集成的快速发展也将集成微波光子学技术推向了一个新的高度。集成微波光子学是一门将射频(RF)工程和集成光子学结
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