【摘 要】
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金属纳米颗粒独特的局域表面等离激元共振特性，在生物医学、材料学、光电器件方面具有良好的应用前景，成为近年来人们研究的热点。虽然局域表面等离激元共振增强作用研究取得了一系列进展，但是在工艺简单、效率高、形貌可控及实际应用方面还存在很大的挑战。本文主要研究了利用磁控溅射法制备Au纳米颗粒，以及热退火对Au纳米颗粒表面形貌、尺寸和局域表面等离激元共振特性的影响，进而将其应用于增强ZnO薄膜光致蓝光发光、
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金属纳米颗粒独特的局域表面等离激元共振特性，在生物医学、材料学、光电器件方面具有良好的应用前景，成为近年来人们研究的热点。虽然局域表面等离激元共振增强作用研究取得了一系列进展，但是在工艺简单、效率高、形貌可控及实际应用方面还存在很大的挑战。本文主要研究了利用磁控溅射法制备Au纳米颗粒，以及热退火对Au纳米颗粒表面形貌、尺寸和局域表面等离激元共振特性的影响，进而将其应用于增强ZnO薄膜光致蓝光发光、改善ZnO基紫外光电探测器的性能。本论文主要内容和研究结果如下：1.采用磁控溅射法制备Au纳米颗
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