【摘 要】
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脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用.该文研制了两种模式的高频脉冲偏压复合电源:单向脉冲偏压复合电源和正负脉冲偏压复合电源.利用IGBT开关电
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脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用.该文研制了两种模式的高频脉冲偏压复合电源:单向脉冲偏压复合电源和正负脉冲偏压复合电源.利用IGBT开关电路模块串联/并联获得了所需模式的高频脉冲偏压波形.该文首先计算了等离子体鞘层的特性,并对其等效电路进行了分析,求出了等离子体鞘层的阻抗,以此计算出电源负载的总阻抗,并在此基础上,求出了纯等离子体负载情况下的电源功率因数.以上工作为电源的结构设计提供了依据.该文的主要工作内容是脉冲偏压复合电源的设计和制造.该文着重研究了开关模式选择、功率单元设计和串联系统设计三部分内容,在此基础上,实现了脉冲电源的多工作模式和灵活的可操作性,设计和制造出单向脉冲和正负脉冲两套复合电源.本文介绍了利用单向脉冲偏压复合电源做的实际等离子体表面改性工艺,包括:脉冲辉光放电,外加射频的脉冲辉光放电以及微弧氧化工艺,并在实际负载条件下,测试了电源的特性.
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